催化燃烧CO：催化燃烧是有机废气经换热器预热后，再经电加热器或燃烧器将废气加热至催化剂的起燃温度（一般300℃左右，不同催化剂起燃温度稍有不同）后，有机组分在催化剂的作用下氧化分解成二氧化碳和水。对有机废气的处理效率可达到98%以上。
对于低浓度废气，催化燃烧通常与活性炭吸脱附系统或转轮系统组合使用。对浓度稍高的废气，可通过预热换热器后，直接进入催化燃烧炉处理。
催化燃烧一般用来处理不含氯、硫、氮等的有机成分。对于含氯、硫、氮的有机成分不太适用，这些成分容易造成催化剂中毒失效，导致废气处理效率达不到预期要求。