医药化工行业VOCs有机废气主流末端处理工艺为：预处理系统+蓄热式焚烧系统+后处理系统，预处理系统主要由洗涤塔和除雾器组成，主要去除废气中无机酸碱废气、颗粒物及水溶性有机废气等；蓄热式焚烧系统主要采用主流的箱式RTO系统，根据风量大小选择箱式数量，深度去除VOCs有机废气；后处理系统主要由急冷塔和洗涤塔组成，主要去除RTO燃烧生成的二次污染。