项目地点：无锡.江阴
项目时间：2024年
处理工艺：干式过滤+转轮浓缩+蓄热式焚烧系统(RC+RTO)
处理效果：达到《半导体行业污染物排放标准》（DB32 /3747-2020）排放要求

使用说明：甲方公司是一家全球领先的集成电路制造和技术服务企业，提供全方位的芯片成品制造一站式服务，包括集成电路的系统集成、设计仿真、技术开发、产品认证、晶圆中测、晶圆级中道封装测试、系统级封装测试、芯片成品测试并可向世界各地的半导体客户提供直运服务。
本次我司为业主设计制造的是一套90000nm³/h有机废气治理系统，主要处理生产车间封测过程中产生的有机废气；系统正常运行采用干式过滤+转轮浓缩+蓄热式焚烧系统(RC+RTO)进行处理；正常运行时废气进入干式过滤器过滤颗粒物后通过转轮吸附浓缩，净化后的废气在吸附风机的作用下经过烟囱达标排放，经过转轮冷却的高温废气经RTO燃烧室高温气预热到180-220度左右再次进入转轮脱附，脱附后的高浓度废气在主风机作用下进入RTO；在RTO燃烧室内VOCs与废气中的氧气发生氧化反应，经过氧化处理的净化废气通过烟囱达标排放；预处理干式过滤采用F7+F9二级过滤：可以捕集≥0.5um颗粒灰尘及各种悬浮物，净化效率达到99%以上；转轮采用盘式高温再生型，处理效率高达95%以上；蓄热式燃烧系统采用三塔式，热效率高达95%以上，处理效率高达99%以上；当系统出现故障时，废气自动切入旁路系统，旁路系统采用应急活性炭，废气经过活性炭吸附后通过烟囱达标排放；可以实时有效解决了业主有机废气治理难题！

工艺：碱洗+水洗+除雾+蓄热式焚烧系统(三室RTO)+急冷+碱洗+水洗
参数：废气风量：53000Nm3/h，废气浓度：0-5000mg/m3,废气成分：甲醇、乙醇、甲苯、乙酯乙酯、二氯甲烷、乙腈、DMF、异丙醇等VOCs有机废气
描述：医药、农药及精细化工等行业
使用说明：甲方公司成立于2017年，是一家专注于原料药及高级中间体研发、生产、销售的日资企业。本次我司为业主设计制造的是一套53000nm³/h有机废气治理系统，主要处理五个生产车间及污水池产生的高浓度有机废气；系统采用预处理+三塔蓄热式燃烧系统RTO+后处理进行处理；预处理采用一级碱洗+一级水洗：主要去除废气中的无机酸碱气体和废气中的颗粒物及废气中部分水溶性的有机废气；三塔蓄热式燃烧系统RTO深度去除有机废气，处理效率高达99%以上；后处理采用急冷+碱洗塔+水洗：降低废气温度保证后端设备安全运行及去除RTO二次燃烧生成的HCL、氮氧化物等相关气体，有效解决了业主有机废气治理难题！

工艺：碱洗+水洗+除雾+蓄热式焚烧系统(三塔RTO)+急冷+碱洗
参数：废气风量：20000Nm3/h，废气浓度：0-6000mg/m3,废气成分：苯系物、醇类、酯类、醛类、三乙胺等VOCs有机废气；
描述：医药、农药及精细化工等行业
使用说明：甲方公司于2016年12月在安徽省安庆市高新区注册成立，是一家专注于原料药及高级中间体研发、生产、销售的高新技术企业，分别在合肥和安庆设立研发中心。本次我司为业主设计制造的是一套20000nm³/h有机废气治理系统，主要处理两个生产车间及罐区呼吸阀产生的高浓度有机废气；系统采用预处理+三塔蓄热式燃烧系统RTO+后处理进行处理；预处理采用一级碱洗+一级水洗：主要去除废气中的无机酸碱气体和废气中的颗粒物及废气中部分水溶性的有机废气；三塔蓄热式燃烧系统RTO深度去除有机废气，处理效率达99%以上；后处理采用急冷+碱洗塔：降低废气温度保证后端设备安全运行及去除RTO二次燃烧生成的HCL、氮氧化物等相关气体，有效解决了业主有机废气治理难题！

医药化工行业VOCs有机废气主流末端处理工艺为：预处理系统+蓄热式焚烧系统+后处理系统，预处理系统主要由洗涤塔和除雾器组成，主要去除废气中无机酸碱废气、颗粒物及水溶性有机废气等；蓄热式焚烧系统主要采用主流的箱式RTO系统，根据风量大小选择箱式数量，深度去除VOCs有机废气；后处理系统主要由急冷塔和洗涤塔组成，主要去除RTO燃烧生成的二次污染。

工艺：蓄热式焚烧系统(三室RTO)
参数：废气风量：15000Nm3/h，废气浓度：0-4800mg/m3,废气成分：甲苯32%、乙酯乙酯68%等VOCs有机废气
描述：涂布、印刷等行业
使用说明：甲方公司成立于2021年，位于福建省南平市，是一家以从事印刷和记录媒介复制业为主的企业。本次我司为业主设计制造的是一套15000Nm³/h有机废气治理系统，主要处理涂布、印刷生产车间产生的高浓度有机废气；系统采用三塔蓄热式燃烧系统RTO+余热回收进行处理；三塔蓄热式燃烧系统RTO深度去除有机废气，处理效率高达99%以上；处理效果达到福建省地方排放标准要求，有效解决了业主有机废气治理难题！

蓄热式燃烧炉RTO：有机废气经蓄热陶瓷预热后，通过燃烧器加热至不低于750℃，在燃烧室里氧化分解成二氧化碳和水，并释放出热量。再经蓄热陶瓷蓄热后，排往烟囱。一般蓄热陶瓷热回收效率可达95%以上，理论上进出口温差通常在20℃～40℃之间。
因此，正常运行时，燃烧器补充的热量能够维持处理系统20℃～40℃即可达到系统热量平衡。以乙酸乙酯为例，热值为5698kcal/kg，系统自持燃烧浓度理论值约为2290mg/m3。理论上来说，废气达到自持燃烧浓度时，有机废气氧化分解的热量刚好维持系统的热量平衡，此时RTO系统将不消耗天然气。
目前，废气处理工程上，最常用的RTO有三床RTO、旋转RTO，其处理效率均可以达到99%以上。两床RTO处理效率稍低，且一般用于低浓度的废气处理上。