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昆山工统环保科技有限公司

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废气处理设备
转轮+三床式RTO
转轮+三床式RTO
项目地点:无锡.江阴
项目时间:2024年
处理工艺:干式过滤+转轮浓缩+蓄热式焚烧系统(RC+RTO)
处理效果:达到《半导体行业污染物排放标准》(DB32 /3747-2020)排放要求

使用说明:甲方公司是一家全球领先的集成电路制造和技术服务企业,提供全方位的芯片成品制造一站式服务,包括集成电路的系统集成、设计仿真、技术开发、产品认证、晶圆中测、晶圆级中道封装测试、系统级封装测试、芯片成品测试并可向世界各地的半导体客户提供直运服务。
本次我司为业主设计制造的是一套90000nm³/h有机废气治理系统,主要处理生产车间封测过程中产生的有机废气;系统正常运行采用干式过滤+转轮浓缩+蓄热式焚烧系统(RC+RTO)进行处理;正常运行时废气进入干式过滤器过滤颗粒物后通过转轮吸附浓缩,净化后的废气在吸附风机的作用下经过烟囱达标排放,经过转轮冷却的高温废气经RTO燃烧室高温气预热到180-220度左右再次进入转轮脱附,脱附后的高浓度废气在主风机作用下进入RTO;在RTO燃烧室内VOCs与废气中的氧气发生氧化反应,经过氧化处理的净化废气通过烟囱达标排放;预处理干式过滤采用F7+F9二级过滤:可以捕集≥0.5um颗粒灰尘及各种悬浮物,净化效率达到99%以上;转轮采用盘式高温再生型,处理效率高达95%以上;蓄热式燃烧系统采用三塔式,热效率高达95%以上,处理效率高达99%以上;当系统出现故障时,废气自动切入旁路系统,旁路系统采用应急活性炭,废气经过活性炭吸附后通过烟囱达标排放;可以实时有效解决了业主有机废气治理难题!
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